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ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理

 

1、机械泵故障及处理

故障现象

处理方法

机械泵声音异常

检查油位是否合适,油质是否变坏,油温是否<10℃,油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出,更换油雾过滤器)

机械泵不动作

检查项目有:电源电压是否正常,开关是否打开,绕组是否断路或接地,电机是否过热(泵冷却后是否能启动)

2、分子泵故障及处理

开机2min 后压力指示灯不亮。

PI1 真空规管是否有问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏或机械泵是否转动,系统是否有泄漏。

分子泵故障灯亮

检查CD2 电路板设置开关是否处于R 位置,此时应该在N 位置。检查风扇是否停止。

分子泵加速指示灯不亮

CD2电路板上的保险丝烧断,更换保险丝或检查是否有短路现象。

3、质谱室故障

灯丝指示灯闪烁

用万用表检查质谱室航空插座1 5 接线柱是否开路,若开路,更换灯丝;若不开路,检查接线柱6是否和其他接头导通,消除短路现象.

灯丝指示灯不亮

检查灯丝开关键是否处于关闭位置( 再按一下) ,检查I/O 短接插头是否仪器后面的接口。

当检漏开始时压力不下降

检查电路板PO318 保险丝是否有问题.

遥控面板无压力指示

检查PI3 规管是否有问题。

检漏口压力>0.01MPa

机械泵油失效或PI3 规管坏.

4、检测开始时出现的故障

检漏键无效( 绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断,按检漏键将没有反应。

检漏键无效( 指示灯不亮)

I/O 短接插头未插入仪器后面插座。如果I/O 短接插头未插入仪器后面插座,这时检漏仪将接受I/O 口输入信号,而不接受遥控器信号,检漏键无效。

 

5、自动校准结束时出现的故障

 

自动校准失败( 灯丝亮) 红色校准灯亮。首先检查自动校准设置,开关S1 是否处于OFF 位置,所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度( 如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致,仪器也可使用),清洗质谱室。

6、检漏时出现的故障

灵敏度低

检查三极规所测压力, 等到质谱室压力<10-6MPa 时再检漏;如果压力达到,检查离子源是否被污染,清洗离子源。

不向细检方式转换,检漏口压力<2×10-4MPa

检查粗检指示灯是否亮,如果亮,说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

 

通常车间检漏生产之前,会拿样件试检漏( 此样件通常是生产过程中产生的废品,漏率接近设定漏率) ,会发现漏的样件不漏的现象。这是因为漏的样件本身漏率较小,经过多次检漏后,微孔被灰尘堵塞而不漏了。一般不要完全相信漏件,漏件多次使用后就不要使用了。

氦本底太高

检查机械泵油是否失效( 泵油长期使用变质会吸附较多的氦气,导致氦污染) ,检查仪器系统是否有漏,真空管路是否污染,检查三极规上压力是否达到10-6MPa,离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题,如果车间内有多台检漏仪,且氦气的使用量较大时,车间通风不好时;或者车间通风良好,但洁净厂房多采用上送风方式,气流方向是自上而下,由于氦气分子量较小,向上扩散,致使氦气扩散慢,也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口( 通常通大气) 处,安装一个几升容量的气瓶,该气瓶与低压氦气管路连接。这样,就大大减少了环境的氦污染。

操作不合理导致故障

如工作中,有一个大漏的工件,由于操作人员判断错误,不认为工件漏,而去检查工装的连接或者检漏仪,多次对这一工件检漏。这样就会发现,所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后,有大量的氦气进入质谱室,造成质谱室污染。解决的办法是,清理质谱室,反复吸气排气。

脚注信息

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