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PhoeniX L300氦质谱检漏仪,PhoeniXL300Dry干式检漏仪,PhoeniXL300Modul检漏仪维修
作者:lili    发布于:2013-07-02 01:41:01    文字:【】【】【

    苏州工业园区里恩真空产品经营部,真空维修事业部专业从事德国LEYBOLD莱宝PhoeniX L300氦质谱检漏仪,PhoeniXL300Dry干式检漏仪,PhoeniXL300Modul检漏仪.

德国LEYBOLD PHOENIX真空检漏仪

莱宝检漏仪实际应用:

1.针对元部件,进行严密性检漏
2.协助科学上的研发
3.在发电工厂内协助检漏
4.对于真空炉、镀膜设备等装置或系统生产和维护式严密性检漏
5.分析用的仪器
6.针对半导体行业
7.适用于高真空或超高真空的工程

PhoeniXL300

PhoeniXL300Drv

PhoeniXL300Modul

最小可检氦漏率(真空模式)

Mbar.I/S

<5×10-12

<3×10-11

<5×10-12/<8×10-12

最小可检漏率(吸枪模式)

Mbar.I/S

<1×10-7

<1×10-7

<1×10-8

最大可检氦漏率(真空模式)

Mbar.I/S

>0.1

>0.1

>0.1

抽气口允许最大压强

Mbar

15

15

15

分流方式下抽气口允许最大压强

Mbar

1000

-

-

设计名义抽速

M*m*m

2.5(50Hz)
3 (60Hz)

1.6 (50Hz)
1.8 (60Hz)

16/20(50/60Hz)D16B
25/30(50/60Hz)D25B
30/36(50/60Hz)Scroll

对氦的抽速

I/S

>2.5

>2.5

>2.5

带 D16B 泵时的分流抽速

I/S

16 ( 50Hz )

带 D25B 泵时的分流抽速

I/S

25 ( 50Hz )

氦信号的反应时间

S

<1

<1

<1

检漏仪启动时间

Min

<2

<2

<2

质谱仪

180 度扇形偏转磁场

可检质量数

Amu

4:3:2

4:3:2

4:3:2

继电器输出

4

4

4

SPS 输入

6

6

6

测试口连接方式

DN25KF

手持遥控连接线长度

m

4( 最长 32)

4( 最长 32)

4( 最长 32)

功耗

VA

420

350

350

尺寸

mm

495×456×314

495×456×*314

495×456×314

重量

kg

40

37.5

29

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